Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Wien

2002

2 S.

Monographie

198530

Elektronenstrahlen können nur im Hochvakuum erzeugt werden. Ein sogenannter Wehneltzylinder übernimmt die Linsenfunktion und bündelt die Elektronen zu einem schmalen Strahl. Der Strahl kann durch elektromagnetische Kondensorlinsen immer weiter bis zu einer Größe von 4nm (Nanometer) verkleinert werden. Ein Ablenkgenerator sorgt für die zeilenweise Rasterung. Gleichzeitig wird auch eine Bildröhre mit einem Elektronenstrahl abgerastert. Durch das Abtasten wird die Oberfläche seriell als Signalfolge übertragen und erscheint am Beobachtungsschirm. Das Rasterprinzip (abtasten) ermöglicht ein Eingreifen in die zeitliche Zerlegung des Elektronenstrahls und erlaubt
einen Eingriff in die Signalverarbeitung (Kontrast und Helligkeit).